نحوه استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی: 9 مرحله (همراه با تصاویر)

فهرست مطالب:

نحوه استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی: 9 مرحله (همراه با تصاویر)
نحوه استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی: 9 مرحله (همراه با تصاویر)
Anonim

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یک میکروسکوپ با وضوح بسیار بالا است که به افراد اجازه می دهد چیزهای کوچک را با جزئیات بسیار عالی ببینند. این یک مرور سریع در مورد نحوه گرفتن عکس از نمونه با استفاده از نمونه است. به خاطر داشته باشید که SEM یک قطعه بسیار ظریف از تجهیزات است و باید با دقت زیادی مورد استفاده قرار گیرد. با این حال ، رعایت دقیق این مراحل تقریباً تضمین می کند که به میکروسکوپ خود آسیب نخواهید زد. همچنین بسیاری از ویژگی های دیگر وجود دارد که در این مقاله مورد بحث قرار نگرفته است ، اما این روش نحوه بدست آوردن یک تصویر اولیه را توضیح می دهد.

این مقاله دستورالعمل های خاصی را برای میکروسکوپ JEOL JSM-6010LA ارائه می دهد. هر میکروسکوپ JEOL دارای کنترل های بسیار مشابه با میکروسکوپ توضیح داده شده در این دستورالعمل است. میکروسکوپ های هیتاچی نیز بسیار شبیه به هم هستند ، اما مارک های دیگر مانند زایس ممکن است دارای دکمه های کنترل در مکان های مختلف باشند.

مراحل

از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 1
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 1

مرحله 1. یک نمونه آماده تهیه کنید

تهیه نمونه برای میکروسکوپ الکترونی به تنهایی یک روش بسیار عمیق است ، بنابراین برای این روش ، از نمونه ای که برای شما تهیه شده است استفاده کنید. اگر نمونه ای برای SEM آماده شود ، باید اندازه مناسب داشته باشد و همچنین باید دارای سطح رسانا باشد. از آنجا که نمونه قبلاً آماده شده است ، این مقاله فرض می کند که دارای این شرایط است.

از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 2
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 2

مرحله 2. SEM را به فشار اتمسفر برسانید تا درب نمونه باز شود

بدانید که SEM همیشه روشن خواهد بود و محفظه نمونه همیشه در خلاء خواهد بود. این بدان معناست که محفظه کاملاً از هرگونه مولکول گاز خالی است ، بنابراین الکترونها مسیر مشخصی به سمت نمونه خواهند داشت. دکمه VENT را فشار داده و نگه دارید تا چشمک بزند و صدای کلیک را می شنوید. دکمه VENT همچنان چشمک می زند تا محیط داخل محفظه به فشار اتمسفر برسد. هنگامی که دکمه VENT به رنگ نارنجی کامل شد ، این بدان معناست که محفظه در فشار اتمسفر است و می توانید در را باز کنید.

از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 3
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 3

مرحله 3. دستکش بپوشید

این بسیار مهم است زیرا محفظه SEM باید بسیار تمیز بماند!

  • با استفاده از دستگیره های دو طرف در ، به آرامی از در خارج شوید.
  • پس از باز شدن درب ، نگهدارنده نمونه را با دقت بگیرید و به سمت راست بکشید. از شیارهای آن جدا می شود و اکنون می توانید نمونه خود را بارگذاری کنید.
  • در هر یک از چهار گوشه نگهدارنده نمونه ، دو پیچ ثابت وجود دارد که نمونه را در محل خود نگه می دارند. این پیچ ها را کمی شل کنید (نیم دور پیچ گوشتی باید کافی باشد) و سپس نمونه خالی را از نگهدارنده خارج کنید.
  • شما می توانید نمونه خالی را فعلا کنار بگذارید ، اما مطمئن شوید که آن را روی Kimwipe قرار دهید و نه مستقیماً روی میز یا میز. نمونه خود را در نگهدارنده قرار دهید ، سپس پیچ ها را محکم کنید.
  • هنگامی که نمونه شما در جای خود قرار دارد ، پیش بروید و نگهدارنده نمونه را دوباره به داخل شیارهای آن در مرحله نمونه بکشید.
  • حالا می توانید با فشار دادن درب به داخل محفظه ، در را ببندید.
استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی مرحله 4
استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی مرحله 4

مرحله 4. در حالی که در را بسته نگه داشته اید ، دکمه EVAC را فشار داده و نگه دارید تا زمانی که شروع به پلک زدن کند تا محفظه را در خلاء قرار دهید

شما کلیک ها را می شنوید ، سپس بعد از یک دقیقه یا بیشتر توربین های پمپ را می چرخانید. این پمپ ها تمام ذرات گاز را از محفظه خارج کرده و فشار داخلی را به حدود 6^10 torr می رسانند. وقتی دکمه EVAC سبز روشن می شود ، این بدان معناست که محفظه در خلاء است. اکنون 5 دقیقه دیگر صبر کنید تا به مرحله بعدی بروید.

از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 5
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 5

مرحله 5. پس از تمام شدن 5 دقیقه ، شما آماده هستید که پرتو الکترون را روشن کرده و شروع به عکاسی کنید

  • به رایانه SEM بروید و نرم افزار میکروسکوپ باید روشن شود. دکمه سبز رنگ در گوشه سمت راست بالای صفحه OFF نشان می دهد که نشان می دهد پرتو الکترون خاموش است. روی آن کلیک کنید تا پرتو روشن شود و سپس ON می شود.
  • در مرحله بعد ، روی دکمه ACB (کنتراست و روشنایی خودکار) کلیک کنید تا نمونه شما نمایان شود.
  • با استفاده از دکمه بزرگنمایی در صفحه کنترل ، روی بزرگنمایی دلخواه خود بزرگنمایی کنید. ایده خوبی است که فوکوس خود را با بزرگنمایی بیشتر از آنچه می خواهید برای تصویر خود انجام دهید ، بنابراین هنگام کوچک نمایی تصویر شما بهتر به نظر می رسد. به عنوان مثال ، اگر می خواهید تصویری با اندازه 2،500x داشته باشید ، ممکن است تمایل داشته باشید که در حدود 4،000x فوکوس کنید.
  • پس از بزرگنمایی ، از دکمه فوکوس برای فوکوس کردن تصویر خود استفاده کنید.
استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی مرحله 6
استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی مرحله 6

مرحله 6. ارتفاع نمونه را تنظیم کنید

در حال حاضر نمونه شما در حال تمرکز است ، اما ممکن است متوجه شوید آنطور که انتظار دارید خوب به نظر نمی رسد.

  • در زیر تصویر نمونه خود در صفحه کامپیوتر ، فاصله کاری مشخص شده به عنوان "WD x mm" را مشاهده می کنید که x معمولاً عددی در حدود 10-20 است. به این عدد توجه کنید
  • برای تصاویر خوب ، ممکن است بخواهید از فاصله کاری 10 میلی متر استفاده کنید. این بدان معناست که پرتو در فاصله 10 میلی متری از لنز متمرکز شده است. برای تنظیم فاصله کاری خود ، روی "WD x mm" کلیک کنید و یک نوار لغزنده ظاهر می شود که به شما اجازه می دهد هر عدد x را به 10 تغییر دهید. جلو بروید و روی 10 کلیک کنید.
  • در حال حاضر ، ارتفاع نمونه Z = 25 میلی متر است. برای تغییر ارتفاع نمونه ، از دکمه Z استفاده می کنید. این قسمت می تواند مشکل باشد. فاصله اصلی کار هر چه باشد ، 10 را از مقدار کم کنید و این مقدار است که برای حرکت دستگیره Z خود به آن نیاز خواهید داشت. به عنوان مثال ، اگر WD شما 16 میلی متر بود و آن را به 10 میلی متر تغییر دادید ، باید دستگیره Z خود را تقریباً 6 میلی متر پایین بیاورید. بنابراین شما آن را به حدود 19 میلی متر تبدیل می کنید.
  • در حالی که دکمه Z را می چرخانید ، صفحه را تماشا کنید زیرا تمرکز آن شروع می شود. پس از تمرکز ، تصویر شما آماده است!
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 7
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 7

مرحله 7. بزرگنمایی مورد نظر خود را کوچک کنید و اگر می خواهید به منطقه دیگری از نمونه خود بروید ، می توانید از دکمه های X و Y استفاده کنید

همچنین می توانید کنتراست و روشنایی را به دلخواه تنظیم کنید. وقتی ناحیه ای را که دوست دارید پیدا کردید ، با کلیک روی نماد دوربین که روی آن "STORE" نوشته شده ، عکس بگیرید. با این کار یک کادر محاوره ای باز می شود که به شما امکان می دهد فایل تصویری خود را ذخیره کنید. می توانید فایل را به دلخواه انتخاب کنید و آن را در هر پوشه در رایانه یا درایو فلش ذخیره کنید.

از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 8
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 8

مرحله 8. با کلیک روی دکمه سبز رنگی که در گوشه سمت راست بالا روی آن نوشته شده است ، پرتو الکترون را خاموش کنید

قبل از ادامه کار مطمئن شوید "OFF" نوشته شده است. دستگیره های X ، Y و Z را بچرخانید تا هر مقدار 25 میلی متر باشد. حالا دکمه VENT را فشار داده و نگه دارید تا چشمک بزند تا محفظه نمونه به فشار اتمسفر بازگردد.

از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 9
از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده کنید مرحله 9

مرحله 9. محفظه نمونه را هنگامی که دکمه VENT به رنگ نارنجی رنگ است باز کنید

هنگامی که نمونه خود را از نگهدارنده خارج می کنید ، نمونه خالی را در نگهدارنده قرار دهید و دوباره به مرحله نمونه بکشید. در را به حالت بسته بازگردانید. در نهایت ، دکمه EVAC را فشار داده و نگه دارید تا چشمک بزند. به هیچ عنوان محفظه SEM را خالی نگذارید ، این می تواند به قطعات داخل آسیب برساند. هنگامی که دکمه EVAC سبز روشن می شود ، ذخیره SEM ذخیره می شود.

هشدارها

  • پوشیدن دستکش هنگام لمس هر چیزی که وارد محفظه نمونه می شود بسیار مهم است!
  • هرگز محفظه SEM را خالی کنید اگر SEM را ترک می کنید ، مطمئن شوید که دکمه EVAC به رنگ سبز روشن می درخشد.
  • اگر نمونه شما به خصوص برای SEM آماده نشده است ، آن را در میکروسکوپ قرار ندهید! برخی از نمونه ها به سادگی خوب ظاهر نمی شوند ، اما برخی دیگر در واقع می توانند باعث آسیب به قطعات داخلی شوند.

توصیه شده: